双阳极溅射

双阳极溅射（Dual Anode Sputtering, DAS）是一种经工业验证的镀膜技术。其可应用于陶瓷工艺，适用于氧化铌（NbOx）、氧化钛（TiOx）或本征氧化锌（i-ZnO）等材料，例如在显示器和光伏行业中的应用。DAS方法能保证阳极的高利用率，因为即便在溅射电介质时，阳极也会定期清洁。

DAS技术可使我们从常用的中频交流（AC-MF）模式，转向工艺的直流（DC）供电模式，这能显著降低基材的热负荷。通过将DAS溅射与反应性工艺控制相结合，可在过渡区实现高沉积速率。这是一项显著的改进，尤其适用于二氧化硅（SiO₂）和氧化铝（AlOx）的沉积。

如需了解更多详细信息，请查看以下内容或直接联系我们。

工艺适配性强

即便用于绝缘层，依托阳极周期性清洁，仍能保障长时间运行

系统灵活性高

采用可扩展设计，可根据需求灵活调整布局

技术壁垒高

拥有专利技术方案并支持创新性操作，形成差异化竞争优势

设备
设备
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Webcoatinganlage.
FOSA CX卷绕镀膜系统了解更多
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Folienbeschichtungsanlage FOSA MX für Rolle-zu-Rolle Beschichtung.
FOSA MX卷绕镀膜系统了解更多
GIGANOVA卧式镀膜线了解更多
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Inline-Beschichtungsanlage.
XEANOVA在线卧式镀膜系统了解更多
Perspektivische Darstellung einer vertikalen VON ARDENNE Glasbeschichtungsanlage.
GC120V垂直镀膜系统了解更多
媒体
暂无消息
联系信息
02.09.2026 - 04.09.2026
Semicon Taiwan 2026

Taipeh, Taiwan

Silicon Saxony Pavilion

13.10.2026 - 15.10.2026
Semicon West 2026

San Francisco, CA, USA

Moscone Center

North Hall | Booth 5373

VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
201602 SHANGHAI
PR CHINA

Chase Han

Deputy Head of SalesVON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

服务联系人 SERVICE Contact VAVE

松江区强业路 801 号 7 号厂房
201602 上海
中国

搜索