VERA

Evaporation system

VERA 系统是一款结构紧凑、呈圆顶状的 PVD（物理气相沉积）分批式镀膜系统。此系统支持配备多种蒸发源，包括热蒸发、电子束蒸发，同时也兼容离子束和等离子体源。

VERA平台具备高度灵活性，能够处理各类基材，同时融合多种工艺技术来实现多层膜的沉积。VERA可作为独立设备直接安装于洁净室中，也可通过机械手系统，经由洁净室墙壁实现自动装载。

VERA 平台提供灵活的配置方案，可根据客户的特定需求量身定制，确保其能适应光学、电子及半导体领域的多样化应用。通过采用分段式圆顶、托盘或行星式系统，实现了对各类基材的通用兼容性。

凭借四种不同的腔室尺寸，VERA 产品线为研发项目及高产能生产均提供了恰如其分的解决方案。此外，平台还集成了光学监控功能，以确保工艺质量和过程控制。