XEANOVA

在线卧式镀膜系统

如果您正在寻求一套兼具高产能、高灵活性，且搭载成熟可靠工艺与设计方案的生产系统，XEANOVA 系列设备将是理想之选。

该在线式镀膜系统依托我司拥有专利的大面积基板镀膜技术打造。设备宽大的腔体幅宽可实现多片基板同步加工，因此特别适配追求高产能、低成本的生产场景。XEANOVA 既可用于硅片及其他小型基板镀膜，也可加工超薄基板。

得益于模块化结构设计，XEANOVA 可搭载可旋转磁控靶，用于高性能透明导电氧化物（TCO）薄膜及金属、金属氧化物等各类材料的溅射沉积；同时也可改造适配线性热蒸发等其他镀膜工艺。基板可在设备内完成预处理工序，包含真空环境下清洗刻蚀，或是进入真空腔体前的前置清洗、刻蚀处理。

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