计算最佳微调和匀场设置

VA TRIMSHIM
在线微调和匀场服务

VA TRIMSHIM 是一个基于网络的应用程序，可以快速优化单个薄膜层的厚度均匀性（“范围百分比”）。

输入测量的厚度轮廓和当前的微调气体设置后，它会提出新的微调气体设置，从而提高均匀性。

采用相同的方式，可以计算最佳设置的磁棒调整（“匀场”）。

如需了解更多详细信息，请查看以下内容或直接联系我们。

益处

通过现场测试的数学方法提出获

得最优气体和磁控管设置的建议

更高的正常

运行时间和产品质量

可在任何具有

互联网连接和浏览器的设备上使用

联系信息
20.01.2026 - 22.01.2026
SPIE Photonics West 2026

San Francisco, CA, USA

The Moscone Center

Booth 2261

17.03.2026 - 19.03.2026
H2 & FC Expo Tokio 2026

Tokyo, Japan

Tokyo Big Sight

13.10.2026 - 15.10.2026
Semicon West 2026

San Francisco, CA, USA

Moscone Center

North Hall | Booth 5373

VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
201602 SHANGHAI
PR CHINA

服务联系人 SERVICE Contact VAVE

松江区强业路 801 号 7 号厂房
201602 上海
中国

Jana Schilling

Technical Sales ManagerVON ARDENNE GmbH

Chase Han

Deputy Head of SalesVON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

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