热蒸发
有机和无机材料

热蒸发是冯阿登纳镀膜设备中使用的另一种物理气相沉积 (PVD) 工艺。它基于有机和无机材料从封闭坩埚中的热蒸发。

在这些所谓的线性蒸发器中,蒸气通过一个与穿过的基片横向布置的加热管供给。通过沿管的喷嘴布置,蒸汽分布在基片的宽度上,并在基片上冷凝成均匀的膜层。

这一概念允许构建可扩展的源,且对于不同的基片材料和尺寸的空间要求有限。通过选择性地叠加来自几个相邻蒸发管的蒸汽,也可用于形成混合膜层。

这是生产基于有机-无机杂化材料(即钙钛矿)的下一代高效太阳能电池的关键工艺。为此,我们开发了一种概念,能够同时蒸发多达 4 种不同的材料。

这种线性蒸发技术的进一步应用是具有额外防水防油表面的抗反射涂层,例如在显示器中。

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与其他沉积工艺相比,

占地面积小

可轻松扩

展以适应不同的基片宽度

通过两个源的共蒸

发实现不同材料的混合膜层或梯度膜层

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