通过现代测量系统实现

测量系统
在真空镀膜期间

在操作镀膜系统时,对镀膜工艺中的镀膜特性进行持续验证是一项重要任务。这涉及质量保证以及缺陷检测和参数控制。这里的重要测量变量是光学特性,例如反射和透射。但薄膜电阻也具有决定性的。

冯阿登纳在此提供两种解决方案。原位测量系统包括在每个镀膜步骤后在生产线中局部固定的测量头。它们在一个轨道中提供有关各个单独镀膜的信息。异位测量系统在镀膜产品离开生产线后扫描其整个表面。

利用两个系统的信息,您可以测量特性及其分布以保证质量。您可以得出有关每个膜层的工艺参数控制的结论。

如需了解更多详细信息,请点击各个部件或直接联系我们。

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