光学产品
真空镀膜设备与专业知识

近年来,对光学产品(尤其是精密光学产品)的需求大幅增加。近期的发展也将进一步促进自动驾驶、物联网和虚拟现实等市场的增长。

生产这些产品的一个重要前提是采用高精度的镀膜技术。这些镀膜技术利用了光学干涉的特性,从而赋予精密光学器件所需的功能。

冯阿登纳在真空镀膜系统的开发和制造方面已有数十年的经验。因此,我们对真空镀膜物理过程的深入理解以及在各种应用中获得的知识使我们的客户受益匪浅。

我们已将这些知识融入到众多设备平台的开发中。这使我们的客户能够满足从研发到试生产和大规模生产的全方位需求。

如需了解更多详细信息,请点击以下各种产品或直接联系我们。

更致密、更稳定的膜层

用于抗反射镀层和滤光片

特殊CARS工艺技术

用于高质量光学膜层

生产速度提高 30%
进行同时双面镀膜

基材

基材

高精密膜层是精密光学的前提条件。通过干涉一些光学特性来提供新的光学性能。

基于我们的经验,冯阿登纳了解光学元器件真空镀膜所需的物理气相沉积工艺。我们还具备将此工艺应用于各种不同形状和尺寸基材的专业知识。 

超薄玻璃

0.1 ~ 0.3 mm 厚度
Ø 200 mm

晶圆级光学器件
3D传感器

晶片 (Si, InP, GaAs)

0.7 mm厚度
Ø 4″, 6″, 200/300 mm

晶圆级光学器件
激光二极管

标准

1.0~6.5 mm厚度
Ø1″, 2″, 25/50 mm
□ 50x50/100x100 mm²

多种光学产品
激光光学

楔形

标准但表面并非平行
(Δ << 1°)

光学组件
激光

大口径

2~50 mm 厚度
Ø 最大到 200 mm
□ 最大至300x400 mm²

AV/VR/XR
汽车, HUD

立方体

5x5x5 mm³

最大到 70x70x70 mm³

通信光学

球形

5-70 mm 厚度
Ø 最厚至 200 mm

激光光学
X射线/EUV光学

圆柱形

最厚至 70 mm 厚度
最宽至 200 mm

激光光学
X射线/EUV光学

棱镜

高达70毫米
边长

多元化光学元器件
潜望镜光学

洁净室
  • 真空镀膜系统制造
  • 样品试制与镀膜试验服务
  • 600平方米半导体洁净室(含AMC控制能力)
支持
媒体
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Chase Han

Deputy Head of SalesVON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

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