晶片级光学
用于精密­光学部件的­镀膜设备

由于光学滤光层直接沉积在玻璃或半导体晶片上,光学产品的尺寸非常小,性价比很有竞争力。因此,这些光学产品已进入各种市场,诸如消费电子或汽车业。由于大批量生产的需求不断增加,晶片级光学日益受到业界关注。

通过 OPTA X,我们为您提供专门开发的镀膜系统,可满足光子学和晶片级光学领域的要求。

对于对基于晶片的微透镜阵列、半导体传感器或片上滤光片 CMOS 的多层镀膜,OPTA X 为您提供全自动、兼容 SEMI 的晶片处理,以便集成到半导体制造厂中。除直径为 200 毫米的晶片外,OPTA X 还适用于最大尺寸为 300 毫米的晶片。

如需了解更多详细信息,请点击以下各种产品或直接联系我们。

光学滤光层直接在玻璃和半导体晶片上,

例如用于硅设备

对透射或反射的光学监控,

直接在晶片上进行

兼容 SEMI 的晶片处理,

可集成到半导体制造厂中

窄带滤波器
滤波器示例

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VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
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Michael Schneider

Industry Manager OpticsVON ARDENNE GmbH

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