OPTA X
转盘式镀膜系统

光学窗口 先进的面板级封装 介质镜 晶圆级光学器件 汽车显示器 消费电子显示器 MEMS 电力电子 压电传感器和致动器 透镜和光­学圆顶盖 光学干涉滤光片

OPTA X 是一款专为高要求双面镀膜工艺设计的系统，尤其适用于多层光学膜系（含大量交替层）以及存储器、传感器和光子器件领域的新型材料镀膜。

OPTA X 的核心特性在于：

-水平式镀膜架构：标配创新的CARS工艺技术实现最优镀膜效果，同时兼容Meta Mode、反应/非反应溅射等多种工艺方案  
-灵活配置：每侧镀膜面最多可集成5个磁控溅射靶或等离子体源。
-实时监控：配备原位测量技术，光学监测镀膜工艺过程并实时修正。
-自动化处理：模块化设计的自动传输系统，配备标准载入接口及洁净室兼容软件架构。
-卓越的基材适应性，支持300mm晶圆及多种异形基材，采用可定制载具实现多样化基材传输。

根据工艺和生产率要求，也可以组合不同的模块类型。例如，多个工艺腔室或增加预处理和后处理。

 

如需了解更多详细信息，请查看以下内容或直接联系我们。

精密镀膜品质

快速、洁净、低缺陷、高均匀性的镀膜工艺

抗翘曲效应

通过异质材料双面沉积实现应力平衡 

工艺可定制化

支持多层膜系、复合膜层及特殊器件结构的镀膜需求

OPTA X rotary coating disc coating system in cleanroom - front view
OPTA X rotary disc coating system with EFEM
组件
Perspektivische Darstellung eines VON ARDENNE Rotatable Magnetron.
旋转磁控管用于溅射系统了解更多
技术
Perspektivische Darstellung eines Verdampfungsprozesses im Vakuum.
热蒸发有机和无机材料了解更多
测控溅射来自内部开发和制造的核心技术了解更多
洁净室
冯阿登纳的洁净室
洁净室配备了取样与组装设施

专为精密光学、光子学及半导体应用设计

了解更多
  • 真空镀膜系统制造
  • 样品试制与镀膜试验服务
  • 600平方米半导体洁净室（含AMC控制能力）
支持

工程服务
模拟 . 样和开发服务. 机器布局

了解更多
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Versuchsanlage.

技术和应用中心
打样和膜层开发

了解更多

服务
在线客户门户 . 备件和易损件 . 培训

了解更多
媒体
VON ARDENNE Commissions New Deposition Tool OPTA X300 in Cleanroom

VON ARDENNE is commissioning its new deposition tool, the OPTA X300, in its recently opened cleanroom in Germany. The OPTA X300 enables the production…

Transitioning Advanced Packaging from More Moore to More than Moore

For decades, the semiconductor industry has pursued a clear objective: to integrate as many functions as possible into a single system-on-chip (SoC).…

冯阿登纳总部新洁净室正式启用

用于样品制作、组装和调试的最先进环境

New OPTA X300 Deposition Tool & New Cleanroom

Company showcases its advanced engineering capabilities and new deposition solutions at SEMICON West

VIDEO: Coating Equipment for Precision Optical Coatings

A crucial prerequisite for precision optics to function is high-precision coatings that make use of the interference properties and, thereby, provide…

VIDEO: AVS 2022 - Key Takeaways

This video provides some insights into the AVS68 International Symposium and Exhibition in Pittsburgh hosted by the American Vacuum Society. Brian…

联系信息
05.07.2026 - 10.07.2026
SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation 2026

Copenhagen, Denmark

02.09.2026 - 04.09.2026
Semicon Taiwan 2026

Taipeh, Taiwan

Silicon Saxony Pavilion

13.10.2026 - 15.10.2026
Semicon West 2026

San Francisco, CA, USA

Moscone Center

North Hall | Booth 5373

18.11.2026 - 21.11.2026
Semicon Europe 2026

Munich, Germany

Exhibition Center

C2 / C2317

VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
201602 SHANGHAI
PR CHINA

Chase Han

Deputy Head of SalesVON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

服务联系人 SERVICE Contact VAVE

松江区强业路 801 号 7 号厂房
201602 上海
中国

搜索