原位测量系统
用于真空镀膜

原位测量系统将镀膜机内不同镀膜步骤的结果相结合，有助于监控镀膜工艺。它们对于质量控制和最大限度地减少调整时间至关重要。

为了实现这一目标，通过测量这些膜层的透射率、反射率、电阻率和其他光学特性来表征和监控这些膜层。

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