电磁学模拟
方案
建模
- 电线圈
- 永磁体
- 具有非线性 B-H 曲线和磁滞的铁磁材料
- 直流和交流过程
- 电热耦合
- 电磁耦合
工具
- Ansys
- Comsol
- CST/Opera
用途
- 电场和磁场
- 热致变形和应力
- 来自电磁场的力和力矩
- 趋肤效应与运动感应涡流
- 材料磁化
等离子模拟
方案
- 模拟电场和磁场影响下的载流子(离子和电子)
- 空间低压等离子体发展
工具
- PICMC
- Opera
用途
- 腔室几何形状和孔口以及涡流对等离子体发展的影响
- 电子束在磁场影响下的运动轨迹
- 电子束背散射电子的强度和分布
- 溅射和蚀刻工艺的优化