剥离工艺
用于金属化的真空镀膜设备

每个电气系统都需要电气连接。后道应用中，通过将二维薄膜工艺与先前的光刻掩模相结合，创建这些电气连接。

可以说，掩模区域在镀膜后去除、剥离。这可以非常有效地创建小结构。先决条件是，合适的层特性和对相关区域的良好覆盖，以及对光致抗蚀剂没有损害。

对于这些工艺，我们为您提供用于金属化的真空镀膜系统。这些系统适用于不同金属的沉积溶液，以实现不同的应用，带有或不带有助粘剂，并经过温度处理。

如需了解更多详细信息，请点击以下各种产品或直接联系我们。

设备配置灵活，

轻松适应新的工艺和要求

设计紧凑，

节省占地空间

良好的剥离性能，

得益于最佳的膜层特性

设备
Perspektivische Darstellung eines VON ARDENNE Clustersystems.
Cluster-Systeme用于研发和生产了解更多
Perspektivische Darstellung einer vertikalen VON ARDENNE Beschichtungsanlage.
VISS垂直镀膜系统了解更多
技术
测控溅射来自内部开发和制造的核心技术了解更多
CLEANROOM
VA CLEANROOM
Cleanroom-Compatible Sampling & Assembly Facility

for precision optics, photonics & semiconductor applications

  • Manufacturing of vacuum coating systems
  • Sampling & pilot deposition services
  • 600 m² semiconductor cleanroom including AMC capability
支持

工程服务
模拟 . 样和开发服务. 机器布局

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Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Versuchsanlage.

技术和应用中心
打样和膜层开发

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服务
在线客户门户 . 备件和易损件 . 培训

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联系信息
10.06.2025 - 12.06.2025
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Tampere, Finland

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07.10.2025 - 09.10.2025
Semicon West 2025

Phoenix, AZ, USA

Phoenix Convention Center

Booth 6180

VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
201602 SHANGHAI
PR CHINA

服务联系人 SERVICE Contact VAVE

松江区强业路 801 号 7 号厂房
201602 上海
中国

Chase Han

Deputy Head of SalesVON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

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