LION
线性离子源

冯阿登纳线性离子源 LION® 是一款适用于预处理和表面改性的部件。它能够帮助去除碳氢化合物，并与氩气一起使用，必要时还能与额外的氧气一起使用。

LION® 的离子束具有强聚焦和高能量的特点。因此，它是需要物理刻蚀的在线镀膜系统的理想设备。这种离子源具有简单而坚固的设计，易于扩展。

LION® 的主要应用是大面积玻璃镀膜和金属带镀膜。它既有可调节入射角的远程安装型版本，也有法兰安装型版本。

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