IDA
卧式镀膜系统

IDA600 是一种模块化真空镀膜系统，基片通过载板进行传输。如果您正寻找拥有成熟技术且高度灵活的中小型生产设备，IDA|600系统是您的理想之选。

IDA600 采用模块化设计，可根据您的需求进行配置。我们可提供基本配置的设备，例如用于较小生产规模的单端版本。

IDA600 具有高度的工艺灵活性，可以根据客户的需求为溅射和蒸发工艺以及其他技术提供高度的工艺灵活性。此外，可以整合各种预处理和后处理方法。

系统采用灵活而动态的设计，具有标准化的部件，也能够提供定制化的配置。这意味着可适应新的工艺或要求。因此，可以满足客户产品的更新换代。

如需了解更多详细信息，请查看以下内容或直接联系我们。

实现可扩展能⼒

与各种磁控管兼容

适用于研发和中试生产

联系信息

22.10.2026 - 24.10.2026

REI India 2026

Greater Noida, India

India Expo Mart

German Pavillon

18.11.2026 - 21.11.2026

Semicon Europe 2026

Munich, Germany

Exhibition Center

C2 / C2317

VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
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