晶圆级光学器件
用于精密­光学部件的­镀膜设备

通过直接在玻璃或半导体晶圆上沉积光学滤光层，可实现尺寸微型化且性价比优异的光学产品。该技术已成功应用于消费电子、汽车工业等多个市场领域。随着对大规模量产需求的持续增长，晶圆级光学技术正成为行业焦点。

OPTA X镀膜系统专为满足光子学与晶圆级光学领域的技术要求而开发，配备符合SEMI标准的全自动晶圆处理系统，可无缝集成至半导体生产线，适用于基于晶圆的微透镜阵列、半导体传感器及芯片滤光片（filter-on-chip CMOS）的多层镀膜工艺。除200mm直径晶圆外，该系统更可处理300mm的大尺寸晶圆。

如需了解更多详细信息，请点击以下各种产品或直接联系我们。

玻璃与半导体晶圆直接镀膜式光学滤光层

适用于硅基器件等场景

晶圆表面直接进行光学监测

透射/反射双模式

符合SEMI标准的晶圆处理系统

专为半导体晶圆厂集成定制

窄带滤光片
滤波器示例

设备
OPTA X转盘式镀膜系统了解更多
技术
测控溅射来自内部开发和制造的核心技术了解更多
洁净室
冯阿登纳的洁净室
洁净室配备了取样与组装设施

专为精密光学、光子学及半导体应用设计

  • 真空镀膜系统制造
  • 样品试制与镀膜试验服务
  • 600平方米半导体洁净室（含AMC控制能力）
支持

工程服务
模拟 . 样和开发服务. 机器布局

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Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Versuchsanlage.

技术和应用中心
打样和膜层开发

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服务
在线客户门户 . 备件和易损件 . 培训

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24.11.2025 - 27.11.2025
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VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

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Chase Han

Deputy Head of SalesVON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

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