晶圆级光学器件
用于精密­光学部件的­镀膜设备

通过直接在玻璃或半导体晶圆上沉积光学滤光层，可实现尺寸微型化且性价比优异的光学产品。该技术已成功应用于消费电子、汽车工业等多个市场领域。随着对大规模量产需求的持续增长，晶圆级光学技术正成为行业焦点。

OPTA X镀膜系统专为满足光子学与晶圆级光学领域的技术要求而开发，配备符合SEMI标准的全自动晶圆处理系统，可无缝集成至半导体生产线，适用于基于晶圆的微透镜阵列、半导体传感器及芯片滤光片（filter-on-chip CMOS）的多层镀膜工艺。除200mm直径晶圆外，该系统更可处理300mm的大尺寸晶圆。

如需了解更多详细信息，请点击以下各种产品或直接联系我们。

玻璃与半导体晶圆直接镀膜式光学滤光层

适用于硅基器件等场景

晶圆表面直接进行光学监测

透射/反射双模式

符合SEMI标准的晶圆处理系统

专为半导体晶圆厂集成定制

窄带滤光片
滤波器示例

设备
OPTA X转盘式镀膜系统了解更多
Perspektivische Darstellung eines VON ARDENNE Clustersystems.
Cluster Systems用于研发和生产了解更多
技术
测控溅射来自内部开发和制造的核心技术了解更多
洁净室
冯阿登纳的洁净室
洁净室配备了取样与组装设施

专为精密光学、光子学及半导体应用设计

  • 真空镀膜系统制造
  • 样品试制与镀膜试验服务
  • 600平方米半导体洁净室（含AMC控制能力）
支持

工程服务
模拟 . 样和开发服务. 机器布局

了解更多
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Versuchsanlage.

技术和应用中心
打样和膜层开发

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服务
在线客户门户 . 备件和易损件 . 培训

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Media
VON ARDENNE Launches New OPTA X300 Deposition Tool and Opens New Cleanrooms in Dresden, Germany

Company showcases its advanced engineering capabilities and new deposition solutions at SEMICON West

联系信息
24.11.2025 - 27.11.2025
WIDOFA Dubai 2025

Dubai, United Arab Emirates

Dubai International Convention & Exhibition Centre

German Pavillon

VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
201602 SHANGHAI
PR CHINA

服务联系人 SERVICE Contact VAVE

松江区强业路 801 号 7 号厂房
201602 上海
中国

Chase Han

Deputy Head of SalesVON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

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