压电传感器和致动器

用于金属化的真空镀膜设备

从智能手机到智能手表，压电微机电系统（piezoMEMS）为微型传感器提供核心动力，让设备具备灵敏响应、智能交互与高能效特性。凭借超低功耗与高灵敏度优势，piezoMEMS正成为驱动可穿戴技术、物联网（IoT）及智慧生活未来发展的隐形核心。

OPTA X平台可实现氮化铝（AlN）、铝钪氮（AlScN）等高性能压电材料的超精密沉积。这些材料兼具卓越机械性能、CMOS兼容性与环境稳定性，专为piezoMEMS应用场景量身定制。通过高效实现机械力与位移的电信号双向转换，此类先进薄膜为研发高灵敏度传感器与执行器提供关键支撑。

冯阿登纳（VON ARDENNE）依托深厚的材料科学与沉积技术积淀，全力赋能这一新兴市场。我们的工艺经精准优化，可在200mm及300mm晶圆基板上实现厚度与化学计量比的可靠均一性，为大批量生产提供产能与良率双重保障。