Cluster Systems
用于研发和生产

集群系统基于包含多个模块化单元的平台。因此，您可根据特定应用对每款镀膜机进行配置。最重要的是，可集成各种特殊功能以满足您的需求。冯阿登纳集群系统高度灵活，因此可助您降低拥有成本。

冯阿登纳集群系统功能全面，不仅满足研发设施的技术要求，还适用于大规模生产。对于开发新镀膜技术和创建具有特定特性和高再现性的膜层而言，尤其如此。

系统可针对不同的任务单独进行配置：中央传送腔室周围最多可安装七个工艺腔室以及一个或多个装载腔体。所有腔室相互独立，无论是真空方式还是控制技术方面，都是如此。

如需了解更多详细信息，请查看以下内容或直接联系我们。

依靠模

块化设计实现可扩展能力

配置灵活，

适应您的需求

高度灵活性助

您降低运营成本

Cluster Platform

Perspektivische Darstellung eines VON ARDENNE Clustersystems.

洁净室

冯阿登纳的洁净室

洁净室配备了取样与组装设施

专为精密光学、光子学及半导体应用设计

真空镀膜系统制造
样品试制与镀膜试验服务
600平方米半导体洁净室（含AMC控制能力）

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VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
201602 SHANGHAI
PR CHINA

服务联系人 SERVICE Contact VAVE

松江区强业路 801 号 7 号厂房
201602 上海
中国

Chase Han

Deputy Head of SalesVON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Cluster Systems 用于研发和生产

依靠模

配置灵活，

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工程服务 模拟 . 样和开发服务. 机器布局

技术和应用中心 打样和膜层开发

服务 在线客户门户 . 备件和易损件 . 培训

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