MEMS
真空镀膜设备

微机电系统 (MEMS) 是结合了机械部件和电子部件的微型设备。它们应用广泛，包括传感器、显示技术和微流控。

我们为您提供灵活的真空沉积系统，用于 MEMS 制造。通过这些系统，您能够根据特定应用结合不同的技术，诸如刻蚀、金属化沉积、半导体和钝化层、后处理甚至定制要求。

如需了解更多详细信息，请点击以下各种产品或直接联系我们。

轻松适应新的工艺和要求

节省占地空间

使系统更具经济效益

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06.05.2024 - 09.05.2026

SVC Annual Conference 2024

Booth: nn
Chicago Hilton, Illinois, USA

VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
201602 SHANGHAI
PR CHINA

Dr. Frank Hinze

Industry ManagerVON ARDENNE GmbH

SERVICE Contact VAVE

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