半导体
真空镀膜设备和技术

半导体领域正经历快速变革。新兴技术对镀膜工艺提出更多特殊要求，需要以客户为导向、灵活创新的解决方案。作为技术创新的核心基石，半导体技术涵盖从个位数纳米工艺到新型材料应用的广泛需求。  

冯阿登纳提供特种镀膜设备及组件的设计、工程制造、调试及维护服务。我们在真空技术与沉积解决方案领域数十年的专业积累，结合广泛的行业网络，为客户提供卓越的项目实施保障。  

如需了解更多详细信息，请点击以下各种产品或直接联系我们。

前沿需求精准落地

由资深专家团队实现新技术要求的完美执行

客制化开发能力

针对特殊工艺，提供灵活的组件开发及平台化解决方案

长期伙伴式合作

贯穿项目全生命周期的深度协作

设备
OPTA X转盘式镀膜系统了解更多
Perspektivische Darstellung eines VON ARDENNE Clustersystems.
Cluster-Systeme用于研发和生产了解更多
Perspektivische Darstellung einer vertikalen VON ARDENNE Beschichtungsanlage.
VISS垂直镀膜系统了解更多
技术
测控溅射来自内部开发和制造的核心技术了解更多
洁净室
冯阿登纳的洁净室
洁净室配备了取样与组装设施

专为精密光学、光子学及半导体应用设计

  • 真空镀膜系统制造
  • 样品试制与镀膜试验服务
  • 600平方米半导体洁净室（含AMC控制能力）
支持

工程服务
模拟 . 样和开发服务. 机器布局

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Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Versuchsanlage.

技术和应用中心
打样和膜层开发

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服务
在线客户门户 . 备件和易损件 . 培训

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联系信息
07.10.2025 - 09.10.2025
Semicon West 2025

Phoenix, AZ, USA

Phoenix Convention Center

Booth 6180

VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
201602 SHANGHAI
PR CHINA

服务联系人 SERVICE Contact VAVE

松江区强业路 801 号 7 号厂房
201602 上海
中国

Chase Han

Deputy Head of SalesVON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

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