MEMS
真空镀膜设备

微机电系统 (MEMS) 是结合了机械部件和电子部件的微型设备。它们应用广泛，包括传感器、显示技术和微流控。

我们为您提供灵活的真空沉积系统，用于 MEMS 制造。通过这些系统，您能够根据特定应用结合不同的技术，诸如刻蚀、金属化沉积、半导体和钝化层、后处理甚至定制要求。

如需了解更多详细信息，请点击以下各种产品或直接联系我们。

设备配置灵活，

轻松适应新的工艺和要求

设计紧凑，

节省占地空间

全自动理念，

使系统更具经济效益

设备
OPTA X转盘式镀膜系统了解更多
Perspektivische Darstellung eines VON ARDENNE Clustersystems.
Cluster Systems用于研发和生产了解更多
技术
测控溅射来自内部开发和制造的核心技术了解更多
洁净室
冯阿登纳的洁净室
洁净室配备了取样与组装设施

专为精密光学、光子学及半导体应用设计

  • 真空镀膜系统制造
  • 样品试制与镀膜试验服务
  • 600平方米半导体洁净室（含AMC控制能力）
支持

工程服务
模拟 . 样和开发服务. 机器布局

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Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Versuchsanlage.

技术和应用中心
打样和膜层开发

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服务
在线客户门户 . 备件和易损件 . 培训

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联系信息
20.01.2026 - 22.01.2026
SPIE Photonics West 2026

San Francisco, CA, USA

The Moscone Center

Booth 2261

13.10.2026 - 15.10.2026
Semicon West 2026

San Francisco, CA, USA

Moscone Center

North Hall | Booth 5373

VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
201602 SHANGHAI
PR CHINA

服务联系人 SERVICE Contact VAVE

松江区强业路 801 号 7 号厂房
201602 上海
中国

Chase Han

Deputy Head of SalesVON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

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