MEMS
真空镀膜设备

微机电系统 (MEMS) 是结合了机械部件和电子部件的微型设备。它们应用广泛，包括传感器、显示技术和微流控。

我们为您提供灵活的真空沉积系统，用于 MEMS 制造。通过这些系统，您能够根据特定应用结合不同的技术，诸如刻蚀、金属化沉积、半导体和钝化层、后处理甚至定制要求。

如需了解更多详细信息，请点击以下各种产品或直接联系我们。

轻松适应新的工艺和要求

节省占地空间

使系统更具经济效益

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VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
201602 SHANGHAI
PR CHINA

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松江区强业路 801 号 7 号厂房
201602 上海
中国

Chase Han

Deputy Head of SalesVON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.