OPTA X
转盘式镀膜系统

OPTA X 是一款专为高要求双面镀膜工艺设计的系统，尤其适用于多层光学膜系（含大量交替层）以及存储器、传感器和光子器件领域的新型材料镀膜。

OPTA X 的核心特性在于：

-水平式镀膜架构：标配创新的CARS工艺技术实现最优镀膜效果，同时兼容Meta Mode、反应/非反应溅射等多种工艺方案
-灵活配置：每侧镀膜面最多可集成5个磁控溅射靶或等离子体源。
-实时监控：配备原位测量技术，光学监测镀膜工艺过程并实时修正。
-自动化处理：模块化设计的自动传输系统，配备标准载入接口及洁净室兼容软件架构。
-卓越的基材适应性，支持300mm晶圆及多种异形基材，采用可定制载具实现多样化基材传输。

根据工艺和生产率要求，也可以组合不同的模块类型。例如，多个工艺腔室或增加预处理和后处理。

如需了解更多详细信息，请查看以下内容或直接联系我们。

Optics brochure

精密镀膜品质

快速、洁净、低缺陷、高均匀性的镀膜工艺

抗翘曲效应

通过异质材料双面沉积实现应力平衡

工艺可定制化

支持多层膜系、复合膜层及特殊器件结构的镀膜需求

洁净室

冯阿登纳的洁净室

洁净室配备了取样与组装设施

专为精密光学、光子学及半导体应用设计

真空镀膜系统制造
样品试制与镀膜试验服务
600平方米半导体洁净室（含AMC控制能力）

支持

媒体

用于样品制作、组装和调试的最先进环境

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联系信息

20.01.2026 - 22.01.2026

SPIE Photonics West 2026

San Francisco, CA, USA

The Moscone Center

Booth 2261

07.04.2026 - 10.04.2026

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07.05.2026 - 09.05.2026

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San Francisco, CA, USA

Moscone Center

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Exhibition Center

C2 / C2317

VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
201602 SHANGHAI
PR CHINA

服务联系人 SERVICE Contact VAVE

松江区强业路 801 号 7 号厂房
201602 上海
中国

Chase Han

Deputy Head of SalesVON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

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精密镀膜品质

抗翘曲效应

工艺可定制化

工程服务 模拟 . 样和开发服务. 机器布局

技术和应用中心 打样和膜层开发

服务 在线客户门户 . 备件和易损件 . 培训

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