晶片级光学
用于精密光学部件的镀膜设备

由于光学滤光层直接沉积在玻璃或半导体晶片上，光学产品的尺寸非常小，性价比很有竞争力。因此，这些光学产品已进入各种市场，诸如消费电子或汽车业。由于大批量生产的需求不断增加，晶片级光学日益受到业界关注。

通过 OPTA X，我们为您提供专门开发的镀膜系统，可满足光子学和晶片级光学领域的要求。

对于对基于晶片的微透镜阵列、半导体传感器或片上滤光片 CMOS 的多层镀膜，OPTA X 为您提供全自动、兼容 SEMI 的晶片处理，以便集成到半导体制造厂中。除直径为 200 毫米的晶片外，OPTA X 还适用于最大尺寸为 300 毫米的晶片。

如需了解更多详细信息，请点击以下各种产品或直接联系我们。

Optics brochure

例如用于硅设备

直接在晶片上进行

可集成到半导体制造厂中

CLEANROOM

VA CLEANROOM

Cleanroom-Compatible Sampling & Assembly Facility

for precision optics, photonics & semiconductor applications

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24.11.2025 - 27.11.2025

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VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

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