晶片级光学
用于精密­光学部件的­镀膜设备

由于光学滤光层直接沉积在玻璃或半导体晶片上，光学产品的尺寸非常小，性价比很有竞争力。因此，这些光学产品已进入各种市场，诸如消费电子或汽车业。由于大批量生产的需求不断增加，晶片级光学日益受到业界关注。

通过 OPTA X，我们为您提供专门开发的镀膜系统，可满足光子学和晶片级光学领域的要求。

对于对基于晶片的微透镜阵列、半导体传感器或片上滤光片 CMOS 的多层镀膜，OPTA X 为您提供全自动、兼容 SEMI 的晶片处理，以便集成到半导体制造厂中。除直径为 200 毫米的晶片外，OPTA X 还适用于最大尺寸为 300 毫米的晶片。

如需了解更多详细信息，请点击以下各种产品或直接联系我们。

光学滤光层直接在玻璃和半导体晶片上，

例如用于硅设备

对透射或反射的光学监控，

直接在晶片上进行

兼容 SEMI 的晶片处理，

可集成到半导体制造厂中

窄带滤波器
滤波器示例

设备
OPTA X转盘式镀膜系统了解更多
技术
测控溅射来自内部开发和制造的核心技术了解更多
支持

工程服务
模拟 . 样和开发服务. 机器布局

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Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Versuchsanlage.

技术和应用中心
打样和膜层开发

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VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

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