满足灵活的应用需求
采用可靠的软件方案,可控制多达 8 支电子束枪
VA BCOS
电子束引导软件
电子束导向系统是一种电子装置,用于通过电磁透镜和偏转线圈对电子束枪的电子束进行控制与监测。
此系统由工控机、电子束导向基座、控制台以及配套的电子束导向软件组成。
如需了解更多详细信息,请查看以下内容或直接联系我们。
VA BCOS 是一款基于微软 Windows 系统的电子束导向软件,可执行以下功能:
- 控制多达 8 支电子束枪
- 生成偏转图形
- 生成偏转程序序列
- 工艺流程序列(工艺配方)管理
- 电子束连续偏转,同时可调整单个偏转图形的形状、位置、尺寸与驻留时间
- 电子束聚焦调节
- 所有工艺相关运行参数的显示与数据记录
- 数据传输
- 支持通过互联网连接进行外部访问的接口
优势
丰富的图形库
您可以轻松添加自定义图形
灵活的应用场景
支持

工程服务
模拟 . 样和开发服务. 机器布局

技术和应用中心
打样和膜层开发

服务
在线客户门户 . 备件和易损件 . 培训
联系信息
05.07.2026 - 10.07.2026
SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation 2026
Copenhagen, Denmark
02.09.2026 - 04.09.2026
Semicon Taiwan 2026
Taipeh, Taiwan
Silicon Saxony Pavilion
13.10.2026 - 15.10.2026
Semicon West 2026
San Francisco, CA, USA
Moscone Center
North Hall | Booth 5373
VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.
Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
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