LION
线性离子源

冯阿登纳线性离子源 LION® 是一款适用于预处理和表面改性的部件。它能够帮助去除碳氢化合物，并与氩气一起使用，必要时还能与额外的氧气一起使用。

LION® 的离子束具有强聚焦和高能量的特点。因此，它是需要物理刻蚀的在线镀膜系统的理想设备。这种离子源具有简单而坚固的设计，易于扩展。

LION® 的主要应用是大面积玻璃镀膜和金属带镀膜。它既有可调节入射角的远程安装型版本，也有法兰安装型版本。

如需了解更多详细信息，请查看宣传手册或直接联系我们。

Components for Emerging Technologies

采用成熟的技术，

活动时间长达四周

通过优化的现场设计

实现极佳的刻蚀均匀性

采用模块化和可扩展设计，

轻松适应您的要求

Darstellung eines physikalischen Ätzvorgangs im Vakuum.

Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Linear Ionenquelle.

支持

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06.05.2024 - 09.05.2026

SVC Annual Conference 2024

Booth: nn
Chicago Hilton, Illinois, USA

14.05.2024 - 16.05.2024

Optatec Frankfurt 2024

Booth: 318
Messe Frankfurt (1 Halle)

16.05.2024 - 18.05.2024

TiExpo 2024

Booth: A / 099
Suzhou. (The city close to Shanghai)

19.05.2024 - 24.05.2024

ICMCTF 2024

Booth: 321
Grand Exhibit Hall of the Towne and Country Hotel
and Convention Center San Diego
California, USA

VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
201602 SHANGHAI
PR CHINA

Ronny Borchel

Product Manager Plasma ComponentsVON ARDENNE GmbH

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