HISS

水平式镀膜系统

HISS 是一种模块化真空镀膜系统，带有载体式基片传输装置。如果您正寻找采用成熟技术且高度灵活的中小产量生产设备，该系统是您的理想之选。

HISS 采用模块化设计，可根据您的需求进行配置。我们提供各种基本系统配置，诸如用于较小生产规模的单端版本。

这个系统具有高度工艺灵活性，因为工艺腔室可配置平面磁控管或可旋转磁控管。可根据要求提供离子预处理单元或加热和冷却单元。入口/出口、缓冲和运输腔室等所有辅助腔室，都可按照类似方式进行升级。

该系统采用灵活而动态的设计，具有标准化的部件，能够进行定制配置。这意味着该系统可适应新的工艺或要求。因此，客户能够根据自己产品的更新换代灵活采取行动。

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