磁棒
用于可旋转磁控管

在薄膜镀膜应用中,当使用溅射作为沉积方法时,磁场具有重要的作用。磁场会显著影响镀膜均匀性和镀膜特性等镀膜结果。

除了镀膜结果之外,磁场对单位镀膜面积的成本也有重大影响。高质量的磁场可以通过靶材料的高利用率来支持较长的活动时间。

冯阿登纳磁棒采用最先进的技术。我们已在镀膜应用的各个领域安装了 2000 多台。

在磁棒的开发过程中,我们重点关注靶材腐蚀、膜层均匀性、工艺稳定性和应用相关的场强。

它们有各种强度和长度可供选择,并在我们的内部设施中进行质量控制检查。

如需了解更多详细信息,请查看宣传手册或直接联系我们。

凭借最大靶材利用率,

延长活动持续时间

通过优化设计的磁场,

可以使得膜层均匀性达到市场较高水平。

通过可选择的磁场强度,

获得最佳的镀膜特性

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06.05.2024 - 09.05.2026
SVC Annual Conference 2024

Booth: nn
Chicago Hilton, Illinois, USA

14.05.2024 - 16.05.2024
Optatec Frankfurt 2024

Booth: 318
Messe Frankfurt (1 Halle)

16.05.2024 - 18.05.2024
TiExpo 2024

Booth: A / 099
Suzhou. (The city close to Shanghai)

 

19.05.2024 - 24.05.2024
ICMCTF 2024

Booth: 321
Grand Exhibit Hall of the Towne and Country Hotel
and Convention Center San Diego
California, USA

VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
201602 SHANGHAI
PR CHINA

Ronny Borchel

Product Manager Plasma ComponentsVON ARDENNE GmbH

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